美國 Entegris 英特格 WG3NS8RR2 直通式（shì）氣體過濾器Micro XL

為超純氣體係統過濾提供卓（zhuó）越的顆粒過濾效果，是高溫和（hé）動態壓力應用的理想選擇。

最先進的外殼組件通過最小化焊接麵積消除了排氣
全金屬結構非常適合高溫和動壓應用
緊湊的尺寸和靈活的配（pèi）件選擇可提供終極的設計效率並最大（dà）限度地降低工程成本

材料    濾芯    燒結鎳膜過濾器
     住房    電解拋光 VAR316L 不鏽鋼外殼
下（xià）遊清潔度    粒子    <0.03 顆粒/升 (<1 顆粒（lì）/ft 3 ) >0.01 μm    
     揮發物    H 2 O、O 2和 THC 的（de）揮發性脫氣低於可檢（jiǎn）測限值（在室溫（wēn）下通過 RGA 和 FID）
去除等級    ≥0.0015微米
表麵處理（lǐ）內部    ≤5μin Ra
氦氣泄漏等級    合格的（de）    2 × 10 -10 atm-cc/秒。
     已測（cè）試    1 × 10 -9 atm-cc/秒。
最大操作條件：    最大入（rù）口壓力（lì）    20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
     設計（jì）壓力    20°C (68°F) 時為 20 MPa（200 bar，2900 psid）
     最大正向（xiàng）/反（fǎn）向壓差    1 兆帕（10 巴（bā），150 磅/平方英寸）
     最高工（gōng）作溫度    惰性氣體    400°C (725°F) @ 35 巴 (500 psi)
          腐蝕性和反應性氣體（tǐ）    50°C (122°F) @ 70 巴 (1000 psi)
保修單    5年
顆粒保留    15 slpm 時所有（yǒu）顆（kē）粒的去除（chú）率超過 99.9999999% (9 LRV)
流量（liàng）等級    參考性能數據