Wafergard SG YY 係列氣（qì）體過濾器提供卓越（yuè）的微粒過濾功能，可最大限度地提（tí）高（gāo）光伏電池和顯示（shì）器製造的產（chǎn）量。 

與高純度氣體、惰性氣體和 CDA 應（yīng）用具有出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應（yīng）用（yòng）
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板
零件（jiàn）號（hào）
Wafergard SG 氣體過濾器部（bù）件號
零件號 產品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器（qì） 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分 1/4" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣（qì）體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分（fèn） 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈（quān）密封（與（yǔ） VCR 接頭兼容）外螺紋入口/內螺紋出口（kǒu） 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容（róng） VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分（fèn） 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣（qì）體過濾器 60 升/分 1/4" 墊（diàn）圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣（qì）體過濾（lǜ）器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最大（dà）限度地提高光伏（fú）電池（chí）和顯示器製造的產量。 

與（yǔ）高（gāo）純度氣體、惰性氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過（guò）濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製造（zào）工藝氣體
煤（méi）氣櫃
閥組箱
煤氣板
零件號（hào）
Wafergard SG 氣（qì）體（tǐ）過濾器部（bù）件號
零件號 產品類別 最大流量 接頭尺寸和（hé）類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體（tǐ）過濾器 120 升（shēng）/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容（róng）） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 133.5 毫（háo）米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾（lǜ）器 120 升/分 3/8" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼容（róng）） 119.3 毫米（mǐ）（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分（fèn） 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋（wén）入口/內螺紋出口 141.2 毫米（mǐ）（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分（fèn） 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器（qì） 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體過（guò）濾（lǜ）器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫（háo）米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升（shēng）/分 1/2" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣體（tǐ）過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（fēng）（與（yǔ） Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體過濾（lǜ）器 60 升（shēng）/分 1/4" 壓縮（suō）密封（與 Swagelok 兼（jiān）容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")
  

 Wafergard SG YY 係列氣體過濾器提供卓（zhuó）越的（de）微粒過濾功能（néng），可最（zuì）大限度地提高光伏電池（chí）和顯示器製造的產量。 

與高純度氣體、惰性（xìng）氣體和 CDA 應用具有出色的相容性
卓越的下遊清潔度
應用
Wafergard SG 氣體過濾器應用
光伏工藝氣體
顯示製（zhì）造工藝氣體
煤氣櫃
閥組箱
煤氣板
零（líng）件號
Wafergard SG 氣體過濾器部件號
零件號 產品類別 最大流量 接（jiē）頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾（lǜ）器 120 升/分 1/4" 墊圈密封（兼容（róng） VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 115.5 毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分（fèn） 1/2" 墊圈密封（fēng）（兼容 VCR） 133.5 毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過（guò）濾器 120 升/分 3/8" 壓縮密（mì）封（與 Swagelok 兼容） 119.3 毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard SG F Mini XL 氣體過濾器 120 升/分 1/2" 墊（diàn）圈密封（兼（jiān）容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊圈密（mì）封（與 VCR 接頭兼（jiān）容）外螺紋入口/內螺紋出口 141.2 毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard SG Max 氣體過濾器 500 升/分 1/4" 墊（diàn）圈（quān）密封（兼容 VCR） 127 毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 墊圈密封（兼容 VCR） 127 毫（háo）米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard SG Max 氣體（tǐ）過濾器 500 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 112.7 毫米（mǐ）（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard SG Max 氣（qì）體過（guò）濾器 1000 升/分 3/8" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 117.9 毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard SG Max 氣體過濾器 1000 升/分 1/2" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 118.7 毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard SG F 微型氣（qì）體過濾器 60 升/分 1/4" 墊圈密（mì）封（fēng）（兼容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard SG F 微型（xíng）氣體過濾器 60 升/分 1/4" 壓（yā）縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard SG PA 氣體過濾器 60 升（shēng）/分 1/4" 墊圈（quān）密封（兼（jiān）容 VCR） 84.1 毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard SG PA 氣體（tǐ）過濾器 60 升/分 1/4" 壓縮密封（與 Swagelok 兼容） 73.7 毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" gasket seal (VCR compatible) 127.0 mm (5.00")
YY5002PS1 Wafergard SG PAL gas filters 120 slpm 1/4" compression seal (Swagelok compatible) 115.5 mm (4.55")
YY5032PR1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" Gasket seal (VCR compatible) 133.5 mm (5.26")
YY5032PS1 Wafergard SG PAL gas filters 200 slpm 3/8" compression seal (Swagelok compatible) 119.3 mm (4.70")

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝（zhuāng））

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS LGMXFPRR4

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPMOGGT2 過濾（lǜ）器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器（qì）

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

ENTEGRIS WG2F02RR2

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG  WG3NS6RR2 分享到：